ロール式ウエハ成形機の研究 (第2報)

ロール式ウエハ成形機の研究 (第2報)

レコードナンバー154322論文タイプ学術雑誌論文
ALIS書誌IDZZ00015065NACSIS書誌IDAN00200470
論文副題電気サーボ機構による成形ウエハの密度制御
著者名李 珍杰
川村 登
書誌名農業機械學會誌
別誌名Journal of the Japanese Society of Agricultural Machinery
農業機械学会誌
Journal of the Society of Agricultural Machinery
Journal of the Society of Agricultural Machinery, Japan
発行元農業機械學會
巻号,ページ39巻・ 1号, p.53-58(1977-06)ISSN02852543
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索引語乾草;機械;電気;密度
引用文献数2
登録日2011年03月05日
収録データベースJASI

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