オゾン・紫外光併用による洗浄技術に関する試験研究

オゾン・紫外光併用による洗浄技術に関する試験研究

県名茨城県
研究機関名茨城県工業技術センター
課題種別試験研究課題
研究期間(継)H23-25
年度2012
概要人体への影響と環境負荷の低減を図るため,オゾン水と紫外光を併用したレジスト除去技術を開発する。
研究分担先端技術
予算区分国補
パーマリンクhttps://agriknowledge.affrc.go.jp/RN/3030186305
収録データベース研究課題データベース

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